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FR粗糙度仪系列

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详情介绍

自主研发的无导头粗糙度传感器

测量案例

项目	标准型	宽量程型
量程	±420μm	±620μm
分辨率	65536:1	262144:1

性能指标

项目		CE参数
驱动速度	测量范围	±420μm
驱动速度	分辨率	65536:1
粗糙度传感器	显示精度	10nm (+3.5%)
	残留噪声	≤0.010μm
	重复性	16σ≤2nm
	截止波长	电动
	评定长度	电动
粗糙度精度	X轴驱动方式	0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
粗糙度精度	Z轴驱动方式	λC×2、3、4、5、6、7

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