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CE标准型-轮廓测量仪
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详情介绍
对微观外貌的精度解析 解读物质表面密码
测量案例
设备参数表
项目 CE参数
测量范围 X轴 0-300毫米
X轴分辨率 0.1微米
Z轴 30-60毫米
轮廓传感器 Z1轴范围 0.02微米
Z1分辨率 ≤±(0.8+|0.05H|)微米
轮廓精度 Z1线性精度 ±(2+R/8)微米
圆弧 ±2′
角度 0.5微米/100毫米（截止波长2.5）
直线度 电动
驱动速度 X轴驱动方式 电动
Z轴驱动方式 0.5毫米/秒
最快测量速度 500毫米×800毫米
大理石平台 天然大理石
工作台面尺寸 420、620毫米（可选）
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